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硅片邊緣刻蝕專用吸盤(pán)

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

一種硅片邊緣刻蝕專用吸盤(pán) 材質(zhì):CL-PVC, U-PVC 介紹:1)包括吸盤(pán)主體,所述吸盤(pán)主體的頂端中間部位安裝有定位機(jī)構(gòu); 2)所述吸盤(pán)主體的內(nèi)部安裝有真空腔室; 3) 所述吸盤(pán)主體的底端安裝有密封圈安裝槽,可以保證刻蝕過(guò)程中對(duì)背封膜的保護(hù); 4) 能讓真空分布更加均勻,吸附后硅片平整,有利于刻蝕效果; 5)水洗時(shí)吸盤(pán)自身的殘酸更易清洗,且?guī)扛伲P(pán)的實(shí)用性十分高。  

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